Trudy FTIAN T. 27: Kvantovye komp′yutery, mikro- i nanoelektronika: fizika, technologiya, diagnostika i modelirovanie

Monograficheskij sbornik predstavlyaet teoreticheskie i eksperimental′nye rezul′taty, poluchennye sotrudnikami Instituta v oblasti fiziki, modelirovaniya i technologij peredovych nanotranzistornych struktur dlya logicheskich intefal′nych schem (UBIS), nanostruktur dlya tverdotel′nych generatorov teragercovogo diapazona chastot. Predstavleny issledovaniya klyuchevych technologicheskich processov izgotovleniya takich priborov s kriticheskimi razmerami 11-32 nm: elektronno-luchevoj litografii, plazmennogo nano-strukturirovaniya, atomno-sloevogo osazhdeniya dielektrikov i metallov. Privodyatsya rezul′taty v oblasti mikrostrukturirovaniya poristych low-k dielektrikov dlya sistem mnogourovnevoj metallizacii. Bol′shinstvo issledovanij provedeno v ramkach Programmy FNI FANO Rossii.