Trudy FTIAN T. 27: Kvantovye komp′jutery, mikro- i nanoėlektronika: fizika, technologija, diagnostika i modelirovanie

Monografičeskij sbornik predstavljaet teoretičeskie i ėksperimental′nye rezul′taty, polučennye sotrudnikami Instituta v oblasti fiziki, modelirovanija i technologij peredovych nanotranzistornych struktur dlja logičeskich intefal′nych schem (UBIS), nanostruktur dlja tverdotel′nych generatorov teragercovogo diapazona častot. Predstavleny issledovanija ključevych technologičeskich processov izgotovlenija takich priborov s kritičeskimi razmerami 11-32 nm: ėlektronno-lučevoj litografii, plazmennogo nano-strukturirovanija, atomno-sloevogo osaždenija diėlektrikov i metallov. Privodjatsja rezul′taty v oblasti mikrostrukturirovanija poristych low-k diėlektrikov dlja sistem mnogourovnevoj metallizacii. Bol′šinstvo issledovanij provedeno v ramkach Programmy FNI FANO Rossii.