FIZIKA POLUPROVODNIKOVYCH PRIBOROV MIKROELEKTRONIKI. Uchebnoe posobie dlya vuzov

Rassmotreny bazovye poluprovodnikovye pribory sovremennoj mikroelektroniki i fizicheskie processy, obespechivayushhie ich rabotu. Analiziruyutsya staticheskie, chastotnye i impul′snye charakteristiki priborov, rassmatrivayutsya metody schemotechnicheskogo modelirovaniya priborov i privodyatsya ich ekvivalentnye schemy. Rassmotreny predel′nye parametry sovremennych priborov mikroelektroniki. Dlya kazhdogo pribora delaetsya kratkij obzor sovremennych metodov ich strukturnoj realizacii v integral′nych schemach. Dlya studentov, obuchayushhichsya po napravleniyu 210100 «Elektronika i mikroelektronika» (210100.62 — bakalavr, 210100.68 — magistr) i po inzhenernym special′nostyam 210104.65 «Mikroelektronika i tverdotel′naya elektronika», 210108.65 «Mikrosistemnaya technika», 010803.65 «Mikroelektronika i poluprovodnikovye pribory», 210601.65 «Nanotechnologii v elektronike». Material knigi mozhet byt′ polezen takzhe nauchnym rabotnikam, inzhen