Nanotechnologii v mikroėlektronike

knige predstavleny rezul′taty meždisciplinarnych fundamental′nych, poiskovych i prikladnych naučnych issledovanij po razrabotke technologij polučenija novych nanomaterialov i ėlementnoj bazy ėlektronnych ustrojstv novych pokolenij informacionno-telekommunikacionnych sistem